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卓上走査型電子顕微鏡(卓上SEM) Phenom ProX


【概要・特長】

Phenom ProXは元素分析装置を標準で搭載した卓上SEMの最高峰モデルです。SEM像の観察だけでなく、SEM像を解析して試料から最大限の情報を引き出すことができます。広いエリアのSEM像を自動で取得する機能を使ってサブミクロン粒子のSEM像を多数取得し、粒子解析ソフト(オプション)でサイズや形の分布を測定し、統計的な評価を行うことができます。

Phenom ProXに加えて、以下のモデルもあります。
●Phenom XL:最大100x100 mmの大きな試料や多検体に対応可能なモデル
●Phenom Pharos:FE電子銃を搭載、クラス最高画質を叶える世界唯一の卓上FE-SEM
【特徴】
●CeB6電子銃を採用し、高画質観察を実現
●簡単な操作で素早くSEM像を観察
●光学顕微鏡によるカラー画像で視野探し可能
●試料の全体像で観察位置を常に確認可能
●帯電しやすい試料を前処理無しで観察
●粒子・細孔・繊維・表面粗さの解析が可能(オプション)

【主な仕様】
倍率:80 〜 150,000倍
検出器:反射電子検出器(標準)
    二次電子検出器(オプション)
分解能:10 nm(反射電子)
    8 nm(二次電子)


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