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卓上走査型電子顕微鏡 Phenom ParticleX


【概要・特長】

全自動粒子解析を叶える「粒子を測る」ためのシステム粒子の検出から、サイズ・形状計測、元素分析、分類までを完全自動化。
清浄度検査や異物解析など粒子材料の評価を短時間(1粒子1秒)で行えます。
通常のSEMとして多彩な観察・解析にも対応します。
用途に応じて2つのラインナップを用意しています。
●自動清浄度検査:Phenom ParticleX TC
部品に付着したマイクロスケールの異物を自動で解析します。
●粒子材料の品質管理:Phenom ParticleX AM
粒子の均一性や異形・異物粒子の確認など、アディティブ・マニュファクチャリングの品質管理に使用できます。
【製品の特長】
●SEM/EDS による自動解析
●粒子や異物の検出からサイズ・形状解析、元素分析までを完全自動化
●粒子や異物をサイズ・形状パラメータ、化学組成に基づいて分類
●ユーザーが指定したフォーマット
 (例:ISO 16232/VDA 19)でレポート作成
【主な仕様】
倍率:160 ~ 200,000倍
検出器:反射電子検出器(標準)
    二次電子検出器(オプション)
分解能:<10nm


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